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IADC

Fiche d'identité

Nom du projet : Dépôt assisté par faisceau d’ions
Responsable Scientifique : Gianpietro CAGNOLI
Laboratoire : LMA (Laboratoire des Matériaux Avancés) USR 3264 - CNRS
Etat du projet : Acquisition et Installation du matériel en 2013
Personnels impliqués :
> un professeur invité et un ingénieur de recherche au titre du Labex LIO
> en collaboration avec un ingénieur de recherche et un technicien du LMA

Description du projet

Le LMA (Laboratoire des Matériaux avancés – USR 3264 - CNRS) a fait l’acquisition d’une machine de dépôts IAD (Dépôt Assisté par faisceau d’Ions) de marque VPT (Vacuum Process Technology LLC - US) financée par le Labex LIO.

Ce bâti d’évaporation est installé en salle blanche de classe ISO 7 (classe 10000).


De grands substrats peuvent être traités soit en simple rotation soit en mouvement planétaire. Le bâti est équipé de quatre sources d’évaporation : deux sources par chauffage par bombardement électronique et deux sources par chauffage résistif, pour réaliser des traitements de surface. Ces différentes sources permettent aussi bien d’évaporer des oxydes que des métaux afin de réaliser différentes couches optiques. Le bâti de dépôt est également équipé d’une source d’assistance qui a l’avantage d’améliorer les propriétés des couches déposées par simple évaporation. Les deux lampes chauffantes permettent de faire varier la température de dépôt de l’ambiante à 300°C. L’épaisseur des couches déposées est contrôlée par des balances à quartz.

Le procédé de dépôt des couches est entièrement automatisé et contrôlé par le software DesignLinkTM réalisé par VPT.

Cet équipement permettra à LIO et au LMA de jouer un rôle important dans les plus grands projets astronomiques du futur, notamment le projet European Extremely Large Telescope (E-ELT http://www.eso.org/public/teles-instr/e-elt/) pour lequel nous sommes engagés dans le développement de l’instrument HARMONI (http://astroweb1.physics.ox.ac.uk/instr/HARMONI/).